Phân tích toàn diện về giám sát áp suất trong nhà máy bán dẫn

Khi ngày càng có nhiều thành tựu về trí tuệ nhân tạo xuất hiện, sự phát triển của ngành công nghiệp bán dẫn đã trở thành một chiến trường quan trọng cho sự cạnh tranh công nghệ toàn cầu.Trong khi quá trình 2nm đã trở thành điểm kết thúc của cuộc đua công nghiệp, "chiến tranh chính xác" trong phòng sạch bán dẫn từ lâu đã bắt đầu số lượng hạt mỗi mét khối không khí phải được kiểm soát đến một chữ số, và một biến động áp suất chỉ 0.1Pa có thể dẫn đến việc phá hủy toàn bộ lô waferHôm nay, chúng tôi khám phá cách Endress + Hauser đã đào sâu vào chủ đề "giám sát áp suất" để giúp bảo vệ các mục tiêu chính xác của các nhà máy bán dẫn.

Trong một nhà máy bán dẫn, việc sử dụng máy truyền áp trong một dự án có thể đạt 3.000 đến 12.000 đơn vị, bao gồm tất cả các kịch bản bao gồm phòng sạch, xử lý nước sạch và nước thải,và phân phối khí.

Duy trì gradient áp suất chênh lệch vi mô là 510Pa trên các vùng phòng sạch khác nhau là chìa khóa để ngăn ngừa nhiễm trùng chéo.Các Endress+Hauser Deltabar PMD75B truyền áp suất khác biệt tự hào một độ chính xác tiêu chuẩn của 0.05% (0,035% cho độ chính xác lớp bạch kim). Nó có thể được điều chỉnh thông qua Bluetooth đến một phạm vi đo -50 ~ 50Pa để theo dõi áp suất khác biệt vi mô chính xác cao,đảm bảo các yêu cầu về độ sạch của phòng sạch được đáp ứng.

Báo cáo hiệu chuẩn cho thấy sai số đo thực tế là < 0,014Pa.

Trong các hệ thống HVAC của phòng sạch, áp suất trong ống xả thường dao động từ -3.000 đến -1.500Pa, và tính ăn mòn của khí thải axit cơ sở đặt ra một thách thức lớn.Endress+Hauser Deltabar PMD55B, được trang bị các cảm biến với các membrane hợp kim C276 hoặc membrane PMC51B gốm, có thể dễ dàng chống ăn mòn.Nó đã đạt được hiệu quả đầu ra dữ liệu ổn định với độ khoan dung ± 10Pa và báo động tự động khi áp suất vượt quá 50Pa, hoàn toàn giải quyết vấn đề của không kiểm soát dòng chảy quạt.

Hệ thống nước cực sạch đòi hỏi "không ô nhiễm" và các bộ phận không kim loại ướt. Endress + Hauser Cerebra PMC51B áp dụng một lớp vỏ gốm 99,9% độ tinh khiết cao với một khô,Thiết kế không dầu mà về cơ bản tránh rò rỉNó cung cấp các vật liệu ướt phi kim loại tùy chọn, đặc biệt là PVDF (polyvinylidene fluoride), để đáp ứng các yêu cầu tương thích hóa học trong các quy trình nước siêu tinh khiết bán dẫn.Phân kính gốm có chức năng tự giám sát: trong trường hợp bị hư hỏng âm hộ hoặc rò rỉ trung bình, hệ thống tự giám sát cung cấp phản hồi lỗi nhanh chóng để đảm bảo hoạt động không bị gián đoạn của hệ thống.

Nước thải trong ngành công nghiệp bán dẫn thường chứa fluorua hydro ăn mòn cao, tạo ra những thách thức cực kỳ cho các vật liệu ướt.với lớp phủ đặc biệt, có thể đặc biệt giải quyết các vấn đề ăn mòn. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Các quy trình như khắc và lắng đọng phim mỏng đòi hỏi một môi trường chân không cao.có khả năng chống chân không cao với áp suất tuyệt đối có thể đo được tối thiểu là 0.1Pa, và có khả năng cung cấp hỗ trợ dữ liệu chính xác cho quy trình sản xuất 2nm.

Khí đặc biệt tinh khiết cao với độ tinh khiết hơn 99,999% đặt ra các yêu cầu nghiêm ngặt đối với các cảm biến.đáp ứng nhu cầu giám sát áp suất của phân phối khí tinh khiết cao trong tủ khí đặc biệtHệ thống niêm phong phân sạc linh hoạt của nó với các phân sạc vật liệu đặc biệt đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của các hóa chất ăn mòn khác nhau, cho phép giám sát áp suất của bể lưu trữ hóa chất.

Từ sự ra đời của một con chip duy nhất đến việc nâng cấp toàn bộ ngành công nghiệp bán dẫn,độ chính xác và độ tin cậy của máy truyền áp luôn luôn là "đá nền vô hình" đằng sau hậu trườngKhi chúng ta theo đuổi những biên giới vô biên của công nghệ chip, những "nhà quản lý áp suất" hoạt động lặng lẽ này là lực lượng quan trọng bảo vệ hành trình của chúng ta.Từ kiểm soát áp suất chênh lệch vi mô trong phòng sạch đến giám sát an toàn trong xử lý khí thải, từ bảo đảm ô nhiễm bằng không cho nước cực sạch đến phân phối chính xác các khí đặc biệt,Các bộ truyền áp Endress+Hauser luôn đứng ở "đường trước chính xác" của sản xuất thông minh bán dẫn, đồng hành đo áp suất và cung cấp các giải pháp thông minh chuyên nghiệp, an toàn và hiệu quả.