Kompleksowa analiza monitorowania ciśnienia w fabrykach półprzewodników

Wraz ze wzrostem liczby osiągnięć w zakresie sztucznej inteligencji rozwój przemysłu półprzewodnikowego stał się kluczowym polem bitwy w globalnej konkurencji technologicznej.Podczas gdy proces 2nm stał się linią mety przemysłu wyścigu, "wojna precyzji" w czystych pomieszczeniach półprzewodnikowych od dawna się rozpoczęła. Liczba cząstek na metr sześcienny powietrza musi być kontrolowana do jednej cyfry, a wahań ciśnienia tylko 0.1 Pa może spowodować złomowanie całej partii płytekDziś przeanalizujemy, w jaki sposób Endress+Hauser zagłębił się w temat "monitorowania ciśnienia", aby pomóc w zapewnieniu precyzyjnych celów fabryk półprzewodników.

W fabryce półprzewodników wykorzystanie nadajników ciśnienia w jednym projekcie może osiągnąć od 3000 do 12 000 sztuk, obejmując wszystkie scenariusze, w tym pomieszczenia czyste, oczyszczanie czystych i ścieków,i dystrybucji gazu.

Utrzymanie gradientu ciśnienia mikro różnicowego wynoszącego 5 ‰ 10 Pa w różnych strefach pomieszczeń czystych jest kluczem do zapobiegania zanieczyszczeniu krzyżowym.Przekaźnik ciśnienia różniczkowego Endress+Hauser Deltabar PMD75B posiada standardową dokładność 00,05% (0,035% dla dokładności platynowej), można go regulować za pośrednictwem Bluetooth do zakresu pomiarów -50 ~ 50 Pa dla wysokiej precyzji monitorowania ciśnienia mikro różnicowego,zapewnienie spełnienia wymogów w zakresie czystości pomieszczeń czystego.

Raporty kalibracyjne wskazują, że rzeczywisty błąd pomiaru wynosi < 0,014 Pa.

W systemach klimatyzacji pomieszczeń czystego ciśnienie w kanałach wydechowych wynosi zazwyczaj od -3000 do -1500 Pa, a korozyjność gazów odpadowych kwasowo-zasadowych stanowi ogromne wyzwanie.Endress+Hauser Deltabar PMD55B, wyposażony w czujniki z membrany stopu C276 lub PMC51B membrany ceramiczne, może łatwo oprzeć się korozji.z powodzeniem osiągnął stabilny wydajność danych z tolerancją ± 10 Pa i automatyczny alarm, gdy ciśnienie przekracza 50 Pa, całkowicie rozwiązując problem niekontrolowanego przepływu wentylatora.

Systemy ultraczystej wody wymagają "zero zanieczyszczenia" i nie-metalowych części zwilżonych.konstrukcja wolna od oleju, która zasadniczo zapobiega wyciekomOferuje opcjonalne niemetaliczne materiały nawilżone, zwłaszcza PVDF (fluorek poliwinilidenu), aby spełnić wymagania dotyczące kompatybilności chemicznej w półprzewodnikowych procesach ultraczystej wody.diafragma ceramiczna posiada funkcję samokontrolowania: w przypadku uszkodzenia membrany lub przecieku średniej wielkości, system samo-monitorowania zapewnia szybkie informacje zwrotne dotyczące uszkodzenia w celu zapewnienia nieprzerwanej pracy systemu.

Woda odpadowa w przemyśle półprzewodnikowym często zawiera wysokożrący fluorek wodoru, co stanowi ogromne wyzwanie dla nawilżonych materiałów.z specjalną powłoką, może szczególnie rozwiązywać problemy z korozją. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Procesy takie jak etywanie i osadzenie cienkich folii wymagają środowiska o wysokiej próżni.jest odporny na wysoką próżnię przy minimalnym mierzalnym ciśnieniu bezwzględnym 0.1Pa i jest zdolny do dostarczania dokładnych danych w procesie produkcyjnym 2 nm.

Wysokiej czystości gazy specjalne o czystości powyżej 99,999% nakładają na czujniki rygorystyczne wymagania.spełnia potrzeby monitorowania ciśnienia w zakresie dystrybucji gazu o wysokiej czystości w specjalnych szafkach gazowychJego elastyczny system uszczelniający przepływowy z specjalnymi przepływowymi materiałami spełnia rygorystyczne wymagania różnych substancji korozyjnych, umożliwiając monitorowanie ciśnienia zbiorników chemicznych.

Od narodzin jednego chipa do modernizacji całego przemysłu półprzewodnikowego,Dokładność i niezawodność nadajników ciśnienia zawsze stanowiły "niewidzialny kamień węgielny"Podczas gdy poszukujemy nieograniczonych granic technologii chipów, ci cicho działający "władcy ciśnienia" są życiową siłą zabezpieczającą naszą drogę.Od kontroli ciśnienia mikro różnicowego w czystych pomieszczeniach po monitorowanie bezpieczeństwa w procesie oczyszczania gazów odpadowych, od gwarancji zerowego zanieczyszczenia dla wody ultraczystej po precyzyjne dostarczanie gazów specjalnych,Przekaźniki ciśnienia Endress+Hauser zawsze znajdowały się na pierwszej linii produkcji inteligentnej półprzewodników., wspierając pomiary ciśnienia i dostarczając profesjonalne, bezpieczne i wydajne inteligentne rozwiązania.