Une analyse complète de la surveillance de la pression dans les usines de semi-conducteurs

Le développement de l'industrie des semi-conducteurs est devenu un champ de bataille essentiel pour la concurrence technologique mondiale.Alors que le procédé 2nm est devenu la ligne d'arrivée de la course de l'industrieDans les salles blanches de semi-conducteurs, la "guerre de précision" a commencé depuis longtemps.1 Pa peut entraîner la mise au rebut d'un lot entier de plaquettesAujourd'hui, nous explorons comment Endress+Hauser s'est penchée sur le sujet de la "surveillance de la pression" pour aider à protéger les objectifs de précision des usines de semi-conducteurs.

Dans une usine de semi-conducteurs, l'utilisation d'un seul projet de transmetteurs de pression peut atteindre 3 000 à 12 000 unités, couvrant tous les scénarios, y compris les salles blanches, le traitement des eaux pures et des eaux usées,et distribution de gaz.

Le maintien d'un gradient de pression micro différentiel de 5 à 10 Pa dans les différentes zones de salle blanche est essentiel pour prévenir la contamination croisée.L'émetteur de pression différentielle Endress+Hauser Deltabar PMD75B possède une précision standard de 0Il peut être réglé via Bluetooth sur une plage de mesure de -50 à 50 Pa pour une surveillance de la pression différentielle micro de haute précision,assurer le respect des exigences de propreté des salles blanches.

Les rapports d'étalonnage montrent que l'erreur de mesure réelle est < 0,014 Pa.

Dans les systèmes de climatisation des salles blanches, la pression dans les conduits d'échappement varie généralement de -3.000 à -1.500 Pa, et la corrosivité des gaz résiduels acides-basiques pose un énorme défi.Le deltabar Endress+Hauser PMD55BDans une application de gaz d'échappement dans une usine de semi-conducteurs à Shanghai, le détecteur d'échappement de l'appareil est équipé de capteurs avec des diaphragmes en alliage C276 ou des diaphragmes en céramique PMC51B, qui résistent facilement à la corrosion.il a obtenu avec succès une sortie de données stable avec une tolérance de ± 10 Pa et une alarme automatique lorsque la pression dépasse 50 Pa, résolvant complètement le problème du débit de ventilation incontrôlé.

Les systèmes d'eau ultra-pure exigent "zéro contamination" et des pièces humides non métalliques.conception sans huile qui évite fondamentalement les fuitesIl offre des matériaux humides non métalliques en option, en particulier le PVDF (polyvinylidène fluorure), pour répondre aux exigences de compatibilité chimique dans les procédés d'eau ultra-pure à semi-conducteurs.le diaphragme en céramique dispose d'une fonction d'auto-surveillance: en cas d'endommagement du diaphragme ou de fuite moyenne, le système d'auto-surveillance fournit une rétroaction rapide des défauts pour assurer le fonctionnement ininterrompu du système.

Les eaux usées de l'industrie des semi-conducteurs contiennent souvent du fluorure d'hydrogène hautement corrosif, ce qui pose des problèmes extrêmes pour les matériaux humides.avec un revêtement spécial, peut spécifiquement traiter les problèmes de corrosion. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Les procédés tels que la gravure et le dépôt de films minces nécessitent un environnement à haut vide.est résistant au vide élevé avec une pression absolue mesurable minimale de 0.1Pa et est capable de fournir un support de données précis pour le processus de fabrication à 2 nm.

Les gaz spéciaux de haute pureté avec une pureté supérieure à 99,999% imposent des exigences strictes aux capteurs.répond aux besoins de surveillance de la pression de la distribution de gaz de haute pureté dans les armoires à gaz spécialiséesSon système de scellés de diaphragme flexible avec des diaphragmes de matériaux spéciaux répond aux exigences rigoureuses de différents produits chimiques corrosifs, permettant de surveiller la pression des réservoirs de stockage de produits chimiques.

De la naissance d'une seule puce à la mise à niveau de l'ensemble de l'industrie des semi-conducteurs,la précision et la fiabilité des transmetteurs de pression ont toujours été la "pierre angulaire invisible" derrière les coulissesAlors que nous poursuivons les frontières illimitées de la technologie des puces, ces "administrateurs de pression" qui fonctionnent silencieusement sont la force vitale qui nous protège.Du contrôle de la pression par micro différentiel dans les salles blanches à la surveillance de la sécurité dans le traitement des gaz d'échappement, de la garantie de zéro contamination pour l'eau ultra-pure à la livraison précise de gaz spécialisés,Les émetteurs de pression Endress+Hauser ont toujours été à l'avant-garde de la fabrication intelligente de semi-conducteurs, accompagnant la mesure de la pression et fournissant des solutions intelligentes professionnelles, sûres et efficaces.