Análise abrangente da monitorização da pressão em fabricantes de semicondutores

Com o surgimento de cada vez mais conquistas na área da inteligência artificial, o desenvolvimento da indústria de semicondutores tornou-se um campo de batalha crucial para a competição tecnológica global. Embora o processo de 2nm tenha se tornado a linha de chegada da corrida da indústria, a "guerra de precisão" nas salas limpas de semicondutores já começou há muito tempo—o número de partículas por metro cúbico de ar deve ser controlado para um único dígito, e uma flutuação de pressão de apenas 0,1Pa pode resultar no descarte de um lote inteiro de wafers. Hoje, exploramos como a Endress+Hauser se aprofundou no assunto de "monitoramento de pressão" para ajudar a salvaguardar os objetivos de precisão das fábricas de semicondutores.

Em uma fábrica de semicondutores, o uso por projeto de transmissores de pressão pode chegar a 3.000 a 12.000 unidades, cobrindo todos os cenários, incluindo salas limpas, tratamento de água pura e residual, e distribuição de gases.

Manter um gradiente de pressão diferencial de micro sala limpa de 5–10Pa entre diferentes zonas da sala limpa é a chave para prevenir a contaminação cruzada. O transmissor de pressão diferencial Deltabar PMD75B da Endress+Hauser possui uma precisão padrão de 0,05% (0,035% para precisão de grau platina). Ele pode ser ajustado via Bluetooth para uma faixa de medição de -50~50Pa para monitoramento de pressão diferencial de micro de alta precisão, garantindo que os requisitos de limpeza das salas limpas sejam atendidos.

Relatórios de calibração mostram que o erro real de medição é ＜0,014Pa.

Nos sistemas HVAC de salas limpas, a pressão nos dutos de exaustão geralmente varia de -3.000 a -1.500Pa, e a corrosividade dos gases residuais ácido-base representa um grande desafio. O Deltabar PMD55B da Endress+Hauser, equipado com sensores com diafragmas de Alloy C276 ou diafragmas cerâmicos PMC51B, pode resistir facilmente à corrosão. Em uma aplicação de gás de exaustão em uma fábrica de semicondutores em Xangai, ele alcançou com sucesso uma saída de dados estável com uma tolerância de ±10Pa e alarme automático quando a pressão excede 50Pa, resolvendo completamente o problema da taxa de fluxo de ventilador descontrolada.

Sistemas de água ultra-pura exigem "contaminação zero" e peças molhadas não metálicas. O Cerebra PMC51B da Endress+Hauser adota um diafragma cerâmico de alta pureza de 99,9% com um design seco e isento de óleo que evita fundamentalmente vazamentos. Ele oferece materiais molhados não metálicos opcionais, especialmente PVDF (fluoreto de polivinilideno), para atender aos requisitos de compatibilidade química em processos de água ultra-pura de semicondutores. Enquanto isso, o diafragma cerâmico possui uma função de autoverificação: em caso de dano ao diafragma ou vazamento de meio, o sistema de autoverificação fornece feedback rápido de falha para garantir a operação ininterrupta do sistema.

A água residual na indústria de semicondutores frequentemente contém fluoreto de hidrogênio altamente corrosivo, apresentando desafios extremos para os materiais molhados. O Cerebra PMP51B da Endress+Hauser, com um revestimento especial, pode abordar especificamente problemas de corrosão. Sua aplicação em um projeto de água residual contendo flúor em uma fábrica de semicondutores em Zhejiang resolveu com sucesso o ponto problemático de inchaço ou ruptura do diafragma que aflige transmissores de pressão semelhantes em ambientes corrosivos.

Processos como gravação e deposição de filme fino exigem um ambiente de alto vácuo. O transmissor de pressão cerâmico Cerebra PMC51B da Endress+Hauser adota o princípio de medição capacitiva, é resistente a alto vácuo com uma pressão absoluta mínima mensurável de 0,1Pa e é capaz de fornecer suporte de dados preciso para o processo de fabricação de 2nm.

Gases especiais de alta pureza com pureza superior a 99,999% impõem requisitos rigorosos aos sensores. O Cerebra PMP51B da Endress+Hauser, emparelhado com conexões VCR e acabamento EP (eletropolimento), atende às necessidades de monitoramento de pressão da distribuição de gases de alta pureza em gabinetes de gases especiais. Seu sistema flexível de selo de diafragma com diafragmas de material especial atende aos rigorosos requisitos de diferentes produtos químicos corrosivos, permitindo o monitoramento de pressão de tanques de armazenamento de produtos químicos.

Desde o nascimento de um único chip até a atualização de toda a indústria de semicondutores, a precisão e a confiabilidade dos transmissores de pressão sempre foram o "alicerce invisível" nos bastidores. À medida que buscamos as fronteiras ilimitadas da tecnologia de chips, esses "supervisores de pressão" que operam silenciosamente são a força vital que salvaguarda nosso curso. Do controle de pressão diferencial de micro em salas limpas ao monitoramento de segurança no tratamento de gases residuais, da garantia de contaminação zero para água ultra-pura à entrega precisa de gases especiais, os transmissores de pressão Endress+Hauser sempre estiveram na "linha de frente de precisão" da fabricação inteligente de semicondutores, escoltando a medição de pressão e fornecendo soluções inteligentes profissionais, seguras e eficientes.