Análise abrangente da monitorização da pressão em fabricantes de semicondutores

À medida que o número crescente de realizações de inteligência artificial vem a surgir, o desenvolvimento da indústria de semicondutores tornou-se um campo de batalha fundamental para a concorrência tecnológica mundial.Enquanto o processo de 2nm tornou-se a linha de chegada da corrida da indústria, a "guerra de precisão" nas salas limpas de semicondutores já começou há muito tempo. O número de partículas por metro cúbico de ar deve ser controlado a um único dígito e uma flutuação de pressão de apenas 0.1Pa pode resultar no desmantelamento de um lote inteiro de wafersHoje, exploramos como a Endress+Hauser se aprofundou no tema da "monitorização da pressão" para ajudar a salvaguardar os objetivos de precisão das fábricas de semicondutores.

Em uma fábrica de semicondutores, o uso de transmissores de pressão num único projeto pode chegar a 3.000 a 12.000 unidades, cobrindo todos os cenários, incluindo salas limpas, tratamento de águas puras e de esgotos,e distribuição de gás.

A manutenção de um gradiente de pressão micro diferencial de 510 Pa em diferentes zonas de salas limpas é a chave para evitar a contaminação cruzada.O transmissor de pressão diferencial Endress+Hauser Deltabar PMD75B possui uma precisão padrão de 0.05% (0,035% para precisão de grau de platina). Pode ser ajustado via Bluetooth para uma faixa de medição de -50 ~ 50Pa para monitoramento de pressão micro diferencial de alta precisão,assegurar o cumprimento dos requisitos de limpeza das salas limpas.

Os relatórios de calibração mostram que o erro de medição real é < 0,014 Pa.

Nos sistemas HVAC de salas limpas, a pressão nos dutos de escape varia tipicamente de -3.000 a -1.500 Pa, e a corrosão dos gases residuais ácidos-base representa um enorme desafio.O Endress+Hauser Deltabar PMD55BA utilização de um sistema de detecção de gases de escape, equipado com sensores com diafragmas de liga C276 ou diafragmas de cerâmica PMC51B, pode resistir facilmente à corrosão.O equipamento deve ser equipado com um sistema de alarme automático de saída de dados com uma tolerância de ± 10 Pa e um sistema de alarme automático quando a pressão exceder 50 Pa., resolvendo completamente o problema da taxa de fluxo descontrolada do ventilador.

Os sistemas de água ultrapura exigem "contaminação zero" e partes molhadas não metálicas.Projeto sem óleo que evite fundamentalmente fugasO produto é fabricado a partir de materiais hidratados não metálicos opcionais, especialmente PVDF (fluoreto de polivinileno), para satisfazer os requisitos de compatibilidade química em processos de água ultrapura semicondutores.O diafragma de cerâmica possui uma função de autocontrole: em caso de lesão do diafragma ou de vazamento médio, o sistema de auto-monitorização fornece um rápido feedback de falha para garantir o funcionamento ininterrupto do sistema.

As águas residuais da indústria de semicondutores contêm frequentemente fluoreto de hidrogénio altamente corrosivos, o que apresenta desafios extremos para os materiais molhados.com um revestimento especial, pode abordar especificamente os problemas de corrosão. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Processos como a gravação e a deposição de película fina exigem um ambiente de alto vácuo.é resistente a grande vácuo com uma pressão absoluta mínima mensurável de 0.1Pa, e é capaz de fornecer um suporte de dados precisos para o processo de fabricação de 2 nm.

Os gases especiais de alta pureza com uma pureza superior a 99,999% impõem exigências rigorosas aos sensores.satisfaz as necessidades de monitorização da pressão de distribuição de gás de alta pureza em gabinetes de gás especialO seu sistema de vedação de diafragma flexível com diafragmas de material especial satisfaz os rigorosos requisitos de diferentes produtos químicos corrosivos, permitindo o controlo da pressão dos tanques de armazenamento químico.

Desde o nascimento de um único chip até a modernização de toda a indústria de semicondutores,A precisão e a fiabilidade dos transmissores de pressão sempre foram a "pedra angular invisível" dos bastidoresÀ medida que perseguimos as fronteiras ilimitadas da tecnologia de chips, estes "administradores de pressão" que operam silenciosamente são a força vital que salvaguarda o nosso curso.Do controlo da pressão por micro diferencial nas salas limpas ao controlo da segurança no tratamento dos gases residuais, desde a garantia de zero contaminação para água ultrapura até à entrega precisa de gases especiais,Os transmissores de pressão da Endress+Hauser sempre estiveram na "linha de frente da precisão" da fabricação inteligente de semicondutores, acompanhando a medição da pressão e fornecendo soluções inteligentes profissionais, seguras e eficientes.