Yarım iletken Fabrikasındaki Basınç İzlemesinin Kapsamlı Bir Analizi

Yapay zeka başarılarının gittikçe artan sayısı ön plana çıktıkça, yarı iletken endüstrisinin gelişimi küresel teknolojik rekabet için önemli bir savaş alanı haline geldi.2nm işlemi endüstri yarışının bitiş çizgisi haline geldi., yarı iletken temiz odalardaki "doğruluk savaşı" uzun zaman önce başladı.1Pa, tüm bir parti waferin hurdalanmasına neden olabilir.Bugün, Endress+Hauser'ın yarı iletken fabrikalarının hassasiyet hedeflerini korumaya yardımcı olmak için "basınç izleme" konusunu nasıl araştırdığını inceliyoruz.

Bir yarı iletken fabrikasında, basınç vericilerinin tek proje kullanımı temiz odalar, saf ve atık su arıtma,ve gaz dağıtımı.

Çeşitli temiz oda bölgelerinde 5 ̊10Pa'lık bir mikro farklılık basınç eğimi korumak çapraz kirlenmeyi önlemenin anahtarıdır.Endress+Hauser Deltabar PMD75B diferansiyel basınç vericisi standart bir doğrulukla 0Yüksek hassasiyetli mikro diferansiyel basınç izleme için Bluetooth ile -50 ~ 50Pa ölçüm aralığına ayarlanabilir,Temiz odaların temizlik gereksinimlerinin karşılanmasını sağlamak.

Kalibrasyon raporları gerçek ölçüm hatasının < 0,014Pa olduğunu göstermektedir.

Temiz odaların HVAC sistemlerinde, egzoz kanallarındaki basınç tipik olarak -3.000 ila -1.500Pa arasında değişir ve asit bazlı atık gazların korozivliği büyük bir zorluk oluşturur.Endress+Hauser Deltabar PMD55B, alaşım C276 diyaframları veya PMC51B seramik diyaframları ile donatılmış sensörlerle kolayca korozyona karşı dayanıklıdır.±10Pa toleransıyla ve basınç 50Pa'yı aştığında otomatik alarm ile istikrarlı veri çıkışını başarıyla elde etmiştir., kontrolsüz fan akış hızı sorununu tamamen çözüyor.

Ultra saf su sistemleri "sıfır kirlilik" ve metal olmayan ıslatılmış parçalar gerektirir.Temel olarak sızıntıyı önleyen yağsız tasarım. Yarım iletken ultra saf su işlemlerinde kimyasal uyumluluk gereksinimlerini karşılamak için, özellikle PVDF (polivinilden flüorür) gibi, opsiyonel metal olmayan ıslatılmış malzemeler sunar.Seramik diyafram kendi kendini izleme fonksiyonuna sahiptir.: Diyafram hasarı veya orta derecede sızıntı durumunda, kendi kendini izleyen sistem, kesintisiz sistem çalışmasını sağlamak için hızlı hata geri bildirimi sağlar.

Yarım iletken endüstrisindeki atık sular genellikle çok aşındırıcı hidrojen florür içerir ve ıslatılmış malzemeler için aşırı zorluklar yaratır.Özel bir kaplama ile, özellikle korozyon sorunlarını ele alabilir. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Çizim ve ince film çökmesi gibi işlemler yüksek vakum ortamına ihtiyaç duyar. Endress+Hauser Cerebra PMC51B seramik basınç verici kapasitif ölçüm prensibini benimser,En az ölçülebilir mutlak basınç 0 ile yüksek vaküuma dayanıklıdır.1Pa ve 2nm üretim süreci için doğru veri desteği sağlayabilir.

Yüksek saflıkta, %99,999'dan fazla saflığa sahip özel gazlar sensörlere sıkı gereksinimler getirir.Özel gaz dolaplarında yüksek saflıklı gaz dağıtımında basınç izleme ihtiyaçlarını karşılarÖzel malzeme diyafragmaları ile esnek diyafragma mühürleme sistemi, farklı koroziv kimyasalların sıkı gereksinimlerini karşılar ve kimyasal depolama tanklarının basıncını izlemeyi sağlar.

Tek bir çipin doğuşundan tüm yarı iletken endüstrisinin yükseltilmesine kadar,Basınç vericilerin doğruluğu ve güvenilirliği her zaman "görünmez köşe taşı" olmuştur.Çip teknolojisinin sınırsız sınırlarını takip ederken, sessizce çalışan bu "basınç yöneticileri" yolumuzu koruyan hayati güçlerdir.Temiz odalarda mikro diferansiyel basınç kontrolünden atık gaz arıtmasında güvenlik izlemesine kadar, ultra saf su için sıfır kirlilik garantisinden özel gazların hassas teslimatına,Endress+Hauser basınç vericileri her zaman yarı iletken akıllı imalatın "doğruluk cephesinde" durdu, basınç ölçümüne eşlik etmek ve profesyonel, güvenli ve verimli akıllı çözümler sunmak.