تحلیل جامع نظارت بر فشار در کارخانه‌های نیمه‌هادی

با ظهور دستاوردهای فزاینده هوش مصنوعی، توسعه صنعت نیمه‌هادی به میدان نبرد مهمی برای رقابت جهانی فناوری تبدیل شده است. در حالی که فرآیند ۲ نانومتری به خط پایان رقابت صنعتی تبدیل شده است، "جنگ دقت" در اتاق‌های تمیز نیمه‌هادی مدت‌هاست که آغاز شده است—تعداد ذرات در هر متر مکعب هوا باید به تک رقمی محدود شود و نوسان فشار تنها ۰.۱ پاسکال می‌تواند منجر به اسقاط کل دسته ویفر شود. امروز، ما بررسی می‌کنیم که چگونه اندرس هاوزر به موضوع "نظارت بر فشار" پرداخته است تا به حفاظت از اهداف دقت کارخانه‌های نیمه‌هادی کمک کند.

در یک کارخانه نیمه‌هادی، استفاده تک پروژه‌ای فرستنده‌های فشار می‌تواند به ۳۰۰۰ تا ۱۲۰۰۰ واحد برسد که تمام سناریوها از جمله اتاق‌های تمیز، تصفیه آب خالص و فاضلاب، و توزیع گاز را پوشش می‌دهد.

حفظ گرادیان فشار دیفرانسیل میکرو ۵ تا ۱۰ پاسکال در مناطق مختلف اتاق تمیز، کلید جلوگیری از آلودگی متقاطع است. فرستنده فشار دیفرانسیل اندرس هاوزر Deltabar PMD75B دارای دقت استاندارد ۰.۰۵٪ (۰.۰۳۵٪ برای دقت درجه پلاتین) است. این دستگاه را می‌توان از طریق بلوتوث به محدوده اندازه‌گیری ۵۰- تا ۵۰ پاسکال برای نظارت بر فشار دیفرانسیل میکرو با دقت بالا تنظیم کرد و از رعایت الزامات پاکیزگی اتاق‌های تمیز اطمینان حاصل کرد.

گزارش‌های کالیبراسیون نشان می‌دهند که خطای اندازه‌گیری واقعی کمتر از ۰.۰۱۴ پاسکال است.

در سیستم‌های تهویه مطبوع اتاق‌های تمیز، فشار در کانال‌های خروجی معمولاً بین ۳۰۰۰- تا ۱۵۰۰- پاسکال است و خورندگی گازهای زائد اسیدی و بازی چالش بزرگی را ایجاد می‌کند. اندرس هاوزر Deltabar PMD55B، مجهز به سنسورهایی با دیافراگم آلیاژ C276 یا دیافراگم سرامیکی PMC51B، به راحتی در برابر خوردگی مقاوم است. در یک کاربرد گاز خروجی در یک کارخانه نیمه‌هادی در شانگهای، این دستگاه با موفقیت خروجی داده پایدار با تلورانس ±۱۰ پاسکال و هشدار خودکار در صورت تجاوز فشار از ۵۰ پاسکال را به دست آورده است و مشکل نرخ جریان فن غیرقابل کنترل را به طور کامل حل کرده است.

سیستم‌های آب فوق خالص نیازمند "عدم آلودگی" و قطعات ترشونده غیرفلزی هستند. اندرس هاوزر Cerebra PMC51B از دیافراگم سرامیکی ۹۹.۹٪ با خلوص بالا با طراحی خشک و بدون روغن استفاده می‌کند که اساساً از نشت جلوگیری می‌کند. این دستگاه دارای مواد ترشونده غیرفلزی اختیاری، به ویژه PVDF (پلی‌وینیلیدین فلوراید) است تا الزامات سازگاری شیمیایی در فرآیندهای آب فوق خالص نیمه‌هادی را برآورده کند. در همین حال، دیافراگم سرامیکی دارای عملکرد خود نظارتی است: در صورت آسیب دیدن دیافراگم یا نشت ماده، سیستم خود نظارتی بازخورد سریع خطا را برای اطمینان از عملکرد بی‌وقفه سیستم ارائه می‌دهد.

فاضلاب در صنعت نیمه‌هادی اغلب حاوی هیدروفلوئوریک اسید بسیار خورنده است که چالش‌های شدیدی را برای مواد ترشونده ایجاد می‌کند. اندرس هاوزر Cerebra PMP51B، با پوشش ویژه، می‌تواند به طور خاص مسائل خوردگی را برطرف کند. کاربرد آن در یک پروژه فاضلاب حاوی فلوراید در یک کارخانه نیمه‌هادی در ژجیانگ، نقطه درد برجستگی یا پارگی دیافراگم را که فرستنده‌های فشار مشابه را در محیط‌های خورنده آزار می‌دهد، با موفقیت حل کرده است.

فرآیندهایی مانند حکاکی و رسوب‌دهی لایه نازک به محیط خلاء بالا نیاز دارند. فرستنده فشار سرامیکی اندرس هاوزر Cerebra PMC51B از اصل اندازه‌گیری خازنی استفاده می‌کند، در برابر خلاء بالا مقاوم است و حداقل فشار مطلق قابل اندازه‌گیری آن ۰.۱ پاسکال است و قادر به ارائه پشتیبانی داده دقیق برای فرآیند تولید ۲ نانومتری است.

گازهای تخصصی با خلوص بالا با خلوص بیش از ۹۹.۹۹۹٪ الزامات سختگیرانه‌ای را برای سنسورها اعمال می‌کنند. اندرس هاوزر Cerebra PMP51B، همراه با اتصالات VCR و پرداخت EP (الکتروپالیش)، نیازهای نظارت بر فشار توزیع گاز با خلوص بالا در کابینت‌های گاز تخصصی را برآورده می‌کند. سیستم درزگیر دیافراگمی انعطاف‌پذیر آن با دیافراگم‌های مواد ویژه، الزامات سختگیرانه مواد شیمیایی خورنده مختلف را برآورده می‌کند و امکان نظارت بر فشار مخازن ذخیره مواد شیمیایی را فراهم می‌آورد.

از تولد یک تراشه منفرد تا ارتقاء کل صنعت نیمه‌هادی، دقت و قابلیت اطمینان فرستنده‌های فشار همیشه "سنگ بنای نامرئی" در پشت صحنه بوده‌اند. همانطور که ما مرزهای بی‌کران فناوری تراشه را دنبال می‌کنیم، این "سرپرستان فشار" که بی‌صدا کار می‌کنند، نیروی حیاتی هستند که مسیر ما را محافظت می‌کنند. از کنترل فشار دیفرانسیل میکرو در اتاق‌های تمیز گرفته تا نظارت ایمنی در تصفیه گازهای زائد، از تضمین عدم آلودگی برای آب فوق خالص تا تحویل دقیق گازهای تخصصی، فرستنده‌های فشار اندرس هاوزر همیشه در "خط مقدم دقت" تولید هوشمند نیمه‌هادی قرار داشته‌اند و اندازه‌گیری فشار را همراهی کرده و راه‌حل‌های هوشمند حرفه‌ای، ایمن و کارآمد را ارائه می‌دهند.