تحلیل جامع نظارت بر فشار در کارخانه‌های نیمه‌هادی

با افزایش تعداد دستاوردهای هوش مصنوعی، توسعه صنعت نیمه هادی به یک میدان نبرد محوری برای رقابت جهانی تکنولوژیکی تبدیل شده است.در حالی که فرآیند 2nm به خط پایان مسابقه صنعت تبدیل شده است، "جنگ دقت" در اتاق های تمیز نیمه هادی مدت هاست که آغاز شده است، تعداد ذرات در هر متر مکعب هوا باید به یک رقم کنترل شود و نوسان فشار فقط 0.1Pa می تواند منجر به خراب شدن یک دسته کامل از وافرها شودامروز، ما بررسی می کنیم که چگونه Endress+Hauser به موضوع "مراقبت فشار" برای کمک به حفظ اهداف دقیق کارخانه های نیمه هادی پرداخته است.

در یک کارخانه نیمه هادی، استفاده از فرستنده های فشار در یک پروژه می تواند به 3000 تا 12000 واحد برسد، شامل تمام سناریوها از جمله اتاق های تمیز، تصفیه آب های خالص و فاضلاب،و توزیع گاز.

حفظ گرادیانت فشار فرقی کوچک 5 × 10Pa در مناطق مختلف اتاق تمیز کلید جلوگیری از آلودگی متقابل است.فرستنده فشار فرقی Endress+Hauser Deltabar PMD75B دارای دقت استاندارد 00.05٪ (0.03٪ برای دقت درجه پلاتین) می تواند از طریق بلوتوث به محدوده اندازه گیری -50 ~ 50Pa برای نظارت دقیق فشار فرقی میکرو تنظیم شود.اطمینان از برآورده شدن الزامات تمیز کردن اتاق های تمیز.

گزارش های کالیبراسیون نشان می دهد که خطای واقعی اندازه گیری <0.014Pa است.

در سیستم های HVAC اتاق های تمیز، فشار در لوله های خروجی به طور معمول از -3,000 تا -1,500Pa است و خوردگی گازهای زائد اسید پایه یک چالش بزرگ است.Endress+Hauser دلتا بار PMD55B، مجهز به سنسورها با دیافراگم های آلیاژ C276 یا دیافراگم های سرامیکی PMC51B، می تواند به راحتی در برابر خوردگی مقاومت کند.با موفقیت به خروجی داده های پایدار با تحمل ±10Pa و آلارم خودکار هنگام فشار بیش از 50Pa رسیده است.، به طور کامل مشکل جریان کنترل نشده فن را حل می کند.

سیستم های آب بسیار خالص نیاز به آلودگی صفر و قطعات خیس غیر فلزی دارند. Endress+Hauser Cerebra PMC51B از یک دیافراگم سرامیکی 99.9 درصد باطراحی بدون روغن که اساسا از نشت جلوگیری می کند. این ارائه می دهد مواد مرطوب غیر فلزی اختیاری، به ویژه PVDF (پولی وینیلیدن فلوراید) ، برای پاسخگویی به الزامات سازگاری شیمیایی در فرآیند های نیمه هادی آب فوق العاده خالص.دیافراگم سرامیکی دارای یک تابع کنترل خود است.: در صورت آسیب به دیافراگم یا نشت متوسط، سیستم خود نظارت، بازخورد سریع خطا را برای اطمینان از عملکرد بی وقفه سیستم فراهم می کند.

آب فاضلاب در صنعت نیمه هادی اغلب حاوی هیدروژن فلوراید بسیار خوردنی است که چالش های شدید را برای مواد مرطوب کننده ارائه می دهد.با پوشش ویژه ای، می تواند به طور خاص مشکلات خوردگی را حل کند. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

فرآیندهایی مانند حکاکی و رسوب فیلم نازک نیاز به محیط با خلاء بالا دارند. فرستنده فشار سرامیکی Endress+Hauser Cerebra PMC51B اصول اندازه گیری ظرفیت را اتخاذ می کند.مقاوم به خلاء بالا با حداقل فشار مطلق قابل اندازه گیری 0.1Pa و قادر به ارائه پشتیبانی دقیق داده برای فرآیند تولید 2nm است.

گازهای تخصصی با خلوص بالا با خلوص بیش از 99.999٪ الزامات سختگیرانه ای را بر روی سنسورها تحمیل می کنند. Endress+Hauser Cerebra PMP51B، همراه با لوازم ویدئویی و یک پایان EP (برقی)نیازهای نظارت بر فشار توزیع گاز با پاکیزه ی بالا در کابینت های گاز ویژه را برآورده می کند.سیستم مهر و موم دیافراگم انعطاف پذیر آن با دیافراگم های مواد خاص نیازهای سختگیرانه مواد شیمیایی خوردنی مختلف را برآورده می کند و امکان نظارت بر فشار مخازن ذخیره سازی مواد شیمیایی را فراهم می کند.

از تولد یک تراشه تک تا ارتقاء کل صنعت نیمه هادی،دقت و قابلیت اطمینان فرستنده های فشار همیشه "سنگ بنای نامرئی" پشت صحنه بوده استدر حالی که ما به دنبال مرزهای بی نهایت تکنولوژی تراشه هستیم، این "مراقب فشار" که به صورت ساکت عمل می کنند، نیروی حیاتی هستند که مسیر ما را حفظ می کنند.از کنترل فشار فرقی در اتاق های تمیز تا نظارت بر ایمنی در تصفیه گازهای فاضلاب، از تضمین آلودگی صفر برای آب بسیار خالص تا تحویل دقیق گاز های ویژه،فرستنده های فشار Endress+Hauser همیشه در "خط مقدم دقت" تولید هوشمند نیمه هادی بوده اند، همراهی اندازه گیری فشار و ارائه راه حل های هوشمند حرفه ای، ایمن و کارآمد.