সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে চাপ পর্যবেক্ষণের একটি বিস্তৃত বিশ্লেষণ

কৃত্রিম বুদ্ধিমত্তার ক্রমবর্ধমান সাফল্যের সাথে সাথে অর্ধপরিবাহী শিল্পের বিকাশ বিশ্বব্যাপী প্রযুক্তিগত প্রতিযোগিতার জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ যুদ্ধক্ষেত্রে পরিণত হয়েছে।যদিও ২ এনএম প্রক্রিয়া শিল্পের দৌড়ের ফিনিস লাইন হয়ে উঠেছে, সেমিকন্ডাক্টর ক্লিনরুমের "নির্ভুলতা যুদ্ধ" অনেক আগে থেকেই শুরু হয়েছে।1Pa এর ফলে একটি সম্পূর্ণ ব্যাচ ওয়েফার নষ্ট হতে পারেআজ আমরা দেখব কিভাবে এন্ড্রেস+হাউজার সেমিকন্ডাক্টর কারখানাগুলির সুনির্দিষ্ট লক্ষ্যমাত্রা রক্ষা করতে সাহায্য করার জন্য "চাপ পর্যবেক্ষণ" বিষয়টির দিকে গভীরভাবে তাকিয়ে আছে।

একটি সেমিকন্ডাক্টর কারখানায়, একক প্রকল্পে চাপ ট্রান্সমিটার ব্যবহার 3,000 থেকে 12,000 ইউনিট পর্যন্ত পৌঁছতে পারে, পরিষ্কার ঘর, বিশুদ্ধ এবং বর্জ্য জল চিকিত্সা সহ সমস্ত দৃশ্যাবলী জুড়ে,এবং গ্যাস বিতরণ.

বিভিন্ন ক্লিনরুম জোন জুড়ে 5 ¢ 10Pa এর একটি মাইক্রো ডিফারেনশিয়াল চাপ গ্রেডিয়েন্ট বজায় রাখা ক্রস-দূষণ রোধের মূল চাবিকাঠি।এন্ড্রেস + হাউজার ডেল্টাবার পিএমডি 75 বি ডিফারেনশিয়াল চাপ ট্রান্সমিটারটি 0 এর স্ট্যান্ডার্ড নির্ভুলতার গর্ব করে.05% (0.035% প্ল্যাটিনাম গ্রেড নির্ভুলতার জন্য) । উচ্চ নির্ভুলতার মাইক্রো ডিফারেনশিয়াল চাপ পর্যবেক্ষণের জন্য এটি ব্লুটুথের মাধ্যমে -50 ~ 50Pa এর পরিমাপ পরিসরে সামঞ্জস্য করা যেতে পারে,পরিচ্ছন্ন কক্ষে পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তা পূরণ নিশ্চিত করা.

ক্যালিব্রেশন রিপোর্ট দেখায় প্রকৃত পরিমাপ ত্রুটি <0.014Pa।

ক্লিনরুমের এইচভিএসি সিস্টেমে, নিষ্কাশন নলগুলির চাপ সাধারণত -3,000 থেকে -1,500Pa এর মধ্যে থাকে এবং অ্যাসিড-বেস বর্জ্য গ্যাসের ক্ষয়কারীতা একটি বিশাল চ্যালেঞ্জ।এন্ড্রেস+হাউজার ডেল্টাবার পিএমডি৫৫বি, অ্যালোয় সি ২৭৬ ডায়াফ্রাগম বা পিএমসি ৫১ বি সিরামিক ডায়াফ্রাগম সহ সেন্সর দিয়ে সজ্জিত, সহজে জারা প্রতিরোধ করতে পারে।এটি সফলভাবে ±10Pa সহনশীলতার সাথে স্থিতিশীল ডেটা আউটপুট অর্জন করেছে এবং চাপ 50Pa ছাড়িয়ে গেলে স্বয়ংক্রিয় বিপদাশঙ্কা, অনিয়ন্ত্রিত ফ্যান প্রবাহের সমস্যা সম্পূর্ণরূপে সমাধান করে।

আল্ট্রা-পরিচ্ছন্ন জল সিস্টেম "শূন্য দূষণ" এবং অ-ধাতব ভিজা অংশ প্রয়োজন। Endress+Hauser Cerebra PMC51B একটি 99.9% উচ্চ বিশুদ্ধতা সিরামিক diaphragm গ্রহণ করেতেল মুক্ত নকশা যা মূলত ফুটো এড়ায়এটি সেমিকন্ডাক্টর অতি-পরিচ্ছন্ন জল প্রক্রিয়ায় রাসায়নিক সামঞ্জস্যের প্রয়োজনীয়তা পূরণের জন্য অপশনাল নন-মেটালিক ভিজা উপকরণ, বিশেষ করে পিভিডিএফ (পলিভিনিলাইডেন ফ্লোরাইড) সরবরাহ করে।সিরামিক ডায়াফ্রামে একটি স্ব-নিরীক্ষণ ফাংশন রয়েছে: ডায়াফ্রাম ক্ষতি বা মাঝারি ফুটো হলে, স্ব-নিরীক্ষণ সিস্টেম অবিচ্ছিন্ন সিস্টেম অপারেশন নিশ্চিত করার জন্য দ্রুত ত্রুটি প্রতিক্রিয়া প্রদান করে।

সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের বর্জ্য জল প্রায়ই অত্যন্ত ক্ষয়কারী হাইড্রোজেন ফ্লোরাইড ধারণ করে, যা ভিজা উপকরণগুলির জন্য চরম চ্যালেঞ্জ উপস্থাপন করে।বিশেষ লেপ দিয়ে, বিশেষ করে ক্ষয় সমস্যা মোকাবেলা করতে পারে। Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

ইটচিং এবং পাতলা ফিল্ম জমা দেওয়ার মতো প্রক্রিয়াগুলির জন্য উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পরিবেশের প্রয়োজন। এন্ড্রেস + হাউজার সেরিব্রা পিএমসি 51 বি সিরামিক চাপ ট্রান্সমিটার ক্যাপাসিটিভ পরিমাপ নীতি গ্রহণ করে,এটি উচ্চ শূন্যতা প্রতিরোধী এবং সর্বনিম্ন পরিমাপযোগ্য পরম চাপ 0.1Pa, এবং 2nm উত্পাদন প্রক্রিয়া জন্য সঠিক তথ্য সমর্থন প্রদান করতে সক্ষম।

উচ্চ বিশুদ্ধতা বিশুদ্ধতা সঙ্গে বিশেষ গ্যাস 99.999% এর বেশি সেন্সর উপর কঠোর প্রয়োজনীয়তা আরোপ। Endress+Hauser Cerebra PMP51B, ভিসিআর ফিটিং এবং একটি ইপি (electropolishing) সমাপ্তি সঙ্গে জোড়া,বিশেষ গ্যাস ক্যাবিনেটে উচ্চ বিশুদ্ধতা গ্যাস বিতরণের চাপ পর্যবেক্ষণের চাহিদা পূরণ করেএর নমনীয় ডায়াফ্রাম সিলিং সিস্টেম বিশেষ উপাদান ডায়াফ্রাম বিভিন্ন ক্ষয়কারী রাসায়নিকের কঠোর প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে, রাসায়নিক স্টোরেজ ট্যাংক চাপ পর্যবেক্ষণ করতে সক্ষম।

একটি একক চিপের জন্ম থেকে শুরু করে পুরো অর্ধপরিবাহী শিল্পের উন্নতি পর্যন্ত,চাপ ট্রান্সমিটারগুলির নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা সর্বদা দৃশ্যের পিছনে "অদৃশ্য ভিত্তি" ছিলযখন আমরা চিপ প্রযুক্তির সীমাহীন সীমানা অনুসরণ করি, তখন এই নীরবভাবে কাজ করা "চাপ পরিচালক" আমাদের গতিপথ সুরক্ষিত করার জন্য গুরুত্বপূর্ণ শক্তি।ক্লিনরুমে মাইক্রো ডিফারেনশিয়াল চাপ নিয়ন্ত্রণ থেকে শুরু করে বর্জ্য গ্যাস চিকিত্সার নিরাপত্তা পর্যবেক্ষণ পর্যন্ত, অতি বিশুদ্ধ পানির জন্য শূন্য দূষণের গ্যারান্টি থেকে শুরু করে বিশেষ গ্যাসের সঠিক বিতরণ পর্যন্ত,এন্ড্রেস+হাউজার চাপ ট্রান্সমিটার সর্বদা সেমিকন্ডাক্টর স্মার্ট ম্যানুফ্যাকচারিং এর "নির্ভুলতা ফ্রন্টলাইন" এ দাঁড়িয়ে আছে, চাপ পরিমাপ এবং পেশাদার, নিরাপদ এবং দক্ষ বুদ্ধিমান সমাধান প্রদান।