تحليل شامل لمراقبة الضغط في مصانع أشباه الموصلات

مع ظهور عدد متزايد من إنجازات الذكاء الاصطناعي، أصبح تطوير صناعة أشباه الموصلات ساحة معركة محورية للمنافسة التكنولوجية العالمية.بينما أصبحت عملية 2nm خط النهاية في سباق الصناعة، "حرب الدقة" في غرف النظافة أشباه الموصلات بدأت منذ فترة طويلة، يجب التحكم في عدد الجسيمات لكل متر مكعب من الهواء إلى رقم واحد، وتقلب الضغط من 0.1Pa يمكن أن يؤدي إلى تخريب مجموعة كاملة من رقائقاليوم، نستكشف كيف أن Endress+Hauser قد تعمقت في موضوع "مراقبة الضغط" للمساعدة في حماية أهداف الدقة من مصانع أشباه الموصلات.

في مصنع أشباه الموصلات، استخدام مشروع واحد من أجهزة نقل الضغط يمكن أن تصل إلى 3000 إلى 12000 وحدة، تغطي جميع السيناريوهات بما في ذلك الغرف النظيفة، والمعالجة النظيفة ومعالجة مياه الصرف الصحي،وتوزيع الغاز.

الحفاظ على تراجع ضغط الفرق الصغير من 5 ٪ 10Pa عبر مناطق غرفة نظيفة مختلفة هو مفتاح منع التلوث المتبادل.ناقل الضغط التفاضلي Endress+Hauser Deltabar PMD75B يفتخر بدقة قياسية من 00.05% (0.035% للدقة من الدرجة البلاتينية). يمكن ضبطها عبر Bluetooth إلى نطاق قياس من -50 ~ 50Pa لمراقبة ضغط التفاضل الدقيق للغاية ،ضمان تلبية متطلبات النظافة في الغرف النظيفة.

تظهر تقارير المعايرة أن خطأ القياس الفعلي هو <0.014Pa.

في أنظمة HVAC للغرف النظيفة ، يتراوح الضغط في قنوات العادم عادة من -3000 إلى -1,500Pa ، وتشكّل تآكل غازات النفايات الحمضية القائمة تحديًا كبيرًا.Endress+Hauser ديلتا بار PMD55B، مجهزة بأجهزة استشعار مع الحجابات الحجابية سبيكة C276 أو الحجابات الحجابية PMC51B السيراميكية، يمكن أن تقاوم بسهولة التآكل. في تطبيق غاز العادم في مصنع أشباه الموصلات في شنغهاي،لقد حقق بنجاح إصدار بيانات مستقر مع تسامح ± 10Pa والإنذار التلقائي عند تجاوز الضغط 50Pa، وحل تماما مشكلة تدفق المروحة غير المنضبط.

أنظمة المياه النقية للغاية تتطلب "صفر التلوث" وقطع غير معدنية مبللة.تصميم خال من الزيت الذي يتجنب بشكل أساسي التسربيقدم المواد المبللة غير المعدنية الاختيارية ، وخاصة PVDF (فلوريد البوليفينيليدين) ، لتلبية متطلبات التوافق الكيميائي في عمليات المياه النقية فائقة في نصف الموصل.الحجاب السيراميكي يحتوي على وظيفة مراقبة الذات: في حالة تلف الحجاب الحاجز أو تسرب متوسط ، يوفر نظام المراقبة الذاتية ردود الفعل السريعة لضمان تشغيل النظام دون انقطاع.

غالباً ما تحتوي مياه الصرف الصحي في صناعة أشباه الموصلات على فلوريد الهيدروجين المآكل للغاية، مما يمثل تحديات شديدة للمواد المبللة.مع طبقة خاصة، يمكن أن تعالج بشكل خاص قضايا التآكل. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

تتطلب عمليات مثل الحفرة وتحليل الألواح الرقيقة بيئة عالية الفراغ. جهاز نقل الضغط السريري Endress+Hauser Cerebra PMC51B يتبنى مبدأ القياس الساممقاوم للفراغ العالي مع ضغط مطلقا لا يقل عن 0.1Pa، وهي قادرة على توفير دعم دقيق للبيانات لعملية التصنيع 2nm.

الغازات الخاصة ذات النقاء العالي مع نقاء أكثر من 99.999٪ تفرض متطلبات صارمة على أجهزة الاستشعار.تلبي احتياجات مراقبة الضغط لتوزيع الغاز عالي النقاء في خزانات الغازات الخاصةنظام الختم المرن للشاشة الحاجز مع الشاشات الحاجز المواد الخاصة تلبي المتطلبات الصارمة لمختلف المواد الكيميائية التآكل، مما يتيح مراقبة الضغط من خزانات تخزين المواد الكيميائية.

من ولادة شريحة واحدة إلى ترقية صناعة أشباه الموصلات بأكملهادقة وموثوقية أجهزة نقل الضغط كانت دائما "حجر الزاوية الخفي"بينما نسعى إلى الحدود التي لا حدود لها لتكنولوجيا الرقائق هذه "مراقبة الضغط" تعمل بصمت هي القوة الحيوية التي تحمي مسارنامن التحكم في ضغط الفارق الصغير في الغرف النظيفة إلى مراقبة السلامة في معالجة غازات النفايات، من ضمان التلوث الصفري للمياه النقية للغاية إلى التسليم الدقيق للغازات الخاصة،أجهزة إرسال الضغط Endress+Hauser كانت دائماً تقف في "الخطوط الأمامية الدقيقة" للتصنيع الذكي للشرائح، مرافقة قياس الضغط وتوفير حلول ذكية احترافية وآمنة وفعالة.