Analisis Komprehensif Pemantauan Tekanan di Fab Semikonduktor

Karena semakin banyak pencapaian kecerdasan buatan yang muncul, pengembangan industri semikonduktor telah menjadi medan perang penting untuk persaingan teknologi global.Sementara proses 2nm telah menjadi garis finish dari industri perlombaan, "perang presisi" di kamar bersih semikonduktor telah lama dimulai jumlah partikel per meter kubik udara harus dikontrol ke satu digit, dan fluktuasi tekanan hanya 0.1Pa dapat mengakibatkan pembuangan seluruh batch waferHari ini, kita mengeksplorasi bagaimana Endress+Hauser telah menyelidiki subjek "pemantauan tekanan" untuk membantu menjaga tujuan presisi pabrik semikonduktor.

Dalam pabrik semikonduktor, penggunaan satu proyek pemancar tekanan dapat mencapai 3.000 sampai 12.000 unit, meliputi semua skenario termasuk kamar bersih, murni dan pengolahan air limbah,dan distribusi gas.

Mempertahankan gradien tekanan diferensial mikro 5 ∼ 10 Pa di berbagai zona kamar bersih adalah kunci untuk mencegah kontaminasi silang.Transmitter tekanan diferensial Endress+Hauser Deltabar PMD75B memiliki akurasi standar 0.05% (0,035% untuk akurasi platinum-grade). dapat disesuaikan melalui Bluetooth ke rentang pengukuran -50 ~ 50Pa untuk pemantauan tekanan diferensial mikro presisi tinggi,memastikan persyaratan kebersihan kamar bersih dipenuhi.

Laporan kalibrasi menunjukkan bahwa kesalahan pengukuran sebenarnya adalah < 0,014Pa.

Dalam sistem HVAC kamar bersih, tekanan di saluran knalpot biasanya berkisar dari -3.000 hingga -1.500Pa, dan korosif gas limbah asam-basa menimbulkan tantangan besar.Endress+Hauser Deltabar PMD55B, dilengkapi dengan sensor dengan diafragma paduan C276 atau diafragma keramik PMC51B, dapat dengan mudah menahan korosi.telah berhasil mencapai output data yang stabil dengan toleransi ±10Pa dan alarm otomatis ketika tekanan melebihi 50Pa, sepenuhnya memecahkan masalah aliran kipas tak terkendali.

Sistem air ultra-murni membutuhkan "kontaminasi nol" dan bagian basah non-logam. Endress+Hauser Cerebra PMC51B mengadopsi diafragma keramik 99,9% kemurnian tinggi dengan kering,desain bebas minyak yang pada dasarnya menghindari kebocoranIni menawarkan bahan basah non-logam opsional, terutama PVDF (polyvinylidene fluoride), untuk memenuhi persyaratan kompatibilitas kimia dalam proses air ultra-murni semikonduktor.diafragma keramik memiliki fungsi pemantauan diri: dalam kasus kerusakan diafragma atau kebocoran medium, sistem pemantauan diri memberikan umpan balik kesalahan yang cepat untuk memastikan operasi sistem yang tidak terganggu.

Air limbah di industri semikonduktor sering mengandung hidrogen fluoride yang sangat korosif, yang menyajikan tantangan ekstrim untuk bahan basah.dengan lapisan khusus, dapat secara khusus mengatasi masalah korosi. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Proses seperti etching dan deposit film tipis membutuhkan lingkungan vakum tinggi.tahan terhadap vakum tinggi dengan tekanan absolut terukur minimal 0.1Pa, dan mampu memberikan dukungan data yang akurat untuk proses manufaktur 2nm.

Gas khusus kemurnian tinggi dengan kemurnian lebih dari 99,999% memberlakukan persyaratan yang ketat pada sensor.memenuhi kebutuhan pemantauan tekanan distribusi gas kemurnian tinggi di lemari gas khususSistem penyegelan diafragma yang fleksibel dengan diafragma bahan khusus memenuhi persyaratan ketat dari bahan kimia korosif yang berbeda, memungkinkan pemantauan tekanan tangki penyimpanan kimia.

Dari lahirnya satu chip hingga peningkatan seluruh industri semikonduktor,presisi dan keandalan pemancar tekanan selalu menjadi "batu dasar tak terlihat" di balik layarSaat kita mengejar batas teknologi chip, "pemimpin tekanan" yang beroperasi diam-diam ini adalah kekuatan vital yang menjaga jalannya.Dari kontrol tekanan diferensial mikro di ruang bersih hingga pemantauan keselamatan dalam pengolahan gas limbah, dari jaminan pencemaran nol untuk air ultra-murni hingga pengiriman gas khusus yang tepat,Transmitter tekanan Endress+Hauser selalu berada di "garis depan presisi" manufaktur cerdas semikonduktor, mengiringi pengukuran tekanan dan menyediakan solusi cerdas yang profesional, aman dan efisien.