Un'analisi completa del controllo della pressione nelle fabbriche di semiconduttori

Con l'emergere di un numero crescente di risultati di intelligenza artificiale, lo sviluppo dell'industria dei semiconduttori è diventato un campo di battaglia fondamentale per la concorrenza tecnologica globale.Mentre il processo 2nm è diventato il traguardo della corsa dell'industriaLa "guerra della precisione" nelle sale pulite dei semiconduttori è iniziata da tempo.1Pa può causare lo smaltimento di un intero lotto di waferOggi, esploriamo come Endress+Hauser ha approfondito il tema del "controllo della pressione" per contribuire a salvaguardare gli obiettivi di precisione delle fabbriche di semiconduttori.

In una fabbrica di semiconduttori, l'utilizzo di trasmettitori di pressione in un singolo progetto può raggiungere le 3.000 - 12.000 unità, coprendo tutti gli scenari, compresi i locali puliti, il trattamento delle acque reflue,e distribuzione del gas.

Il mantenimento di un gradiente di pressione micro differenziale di 5 ‰ 10 Pa tra le diverse zone di stanza pulita è la chiave per prevenire la contaminazione incrociata.Il trasmettitore di pressione differenziale Endress+Hauser Deltabar PMD75B vanta una precisione standard di 0.05% (0,035% per la precisione di grado platino). può essere regolato tramite Bluetooth ad un intervallo di misurazione di -50 ~ 50Pa per un monitoraggio di pressione micro differenziale ad alta precisione,garantire che i requisiti di pulizia delle sale pulite siano soddisfatti.

I rapporti di taratura mostrano che l'errore di misurazione effettivo è < 0,014 Pa.

Nei sistemi HVAC delle sale pulite, la pressione nei condotti di scarico varia tipicamente da -3.000 a -1.500 Pa, e la corrosività dei gas di scarico acido-base rappresenta una sfida enorme.Il Deltabar Endress+Hauser PMD55B, dotato di sensori con diaframmi in lega C276 o diaframmi in ceramica PMC51B, può facilmente resistere alla corrosione.ha ottenuto con successo una produzione di dati stabile con una tolleranza di ± 10 Pa e un allarme automatico quando la pressione supera i 50 Pa, risolvendo completamente il problema della portata incontrollata del ventilatore.

I sistemi di acqua ultra pura richiedono "zero contaminazione" e parti non metalliche bagnate.progettazione priva di olio che evita fondamentalmente le perdite. Offre materiali bagnati non metallici opzionali, in particolare PVDF (polyvinylidene fluoride), per soddisfare i requisiti di compatibilità chimica nei processi di acqua ultra pura a semiconduttori.il diaframma in ceramica ha una funzione di autocontrollo: in caso di danno al diaframma o di perdita media, il sistema di autocontrollo fornisce un rapido feedback dei guasti per garantire il funzionamento ininterrotto del sistema.

Le acque reflue nell'industria dei semiconduttori contengono spesso fluoruro di idrogeno altamente corrosivo, che presenta sfide estreme per i materiali bagnati.con un rivestimento speciale, può affrontare specificamente i problemi di corrosione. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Processi quali l'incisione e la deposizione di film sottili richiedono un ambiente ad alto vuoto.è resistente ad un vuoto elevato con una pressione assoluta minima misurabile pari a 0.1Pa, ed è in grado di fornire un supporto dati accurato per il processo di fabbricazione a 2 nm.

I gas speciali di alta purezza con una purezza superiore al 99,999% impongono requisiti rigorosi ai sensori.soddisfa le esigenze di monitoraggio della pressione della distribuzione di gas ad alta purezza in armadi speciali per gasIl suo sistema di sigillo a diaframma flessibile con diaframmi di materiale speciale soddisfa i rigorosi requisiti di diverse sostanze chimiche corrosive, consentendo il monitoraggio della pressione dei serbatoi di stoccaggio di sostanze chimiche.

Dalla nascita di un singolo chip al miglioramento dell'intera industria dei semiconduttori,la precisione e l'affidabilità dei trasmettitori di pressione sono sempre state la "pietra angolare invisibile dietro le quinte"Mentre cerchiamo di raggiungere i confini della tecnologia dei chip, questi "pressione steward" in silenzio sono la forza vitale che protegge la nostra rotta.Dal controllo della pressione micro differenziale nelle stanze pulite al monitoraggio della sicurezza nel trattamento dei gas di scarico, dalla garanzia di zero contaminazione per l'acqua ultrapura alla consegna precisa di gas speciali,I trasmettitori di pressione Endress+Hauser sono sempre stati all'avanguardia nella produzione intelligente di semiconduttori, accompagnando la misurazione della pressione e fornendo soluzioni intelligenti professionali, sicure ed efficienti.