A medida que un número cada vez mayor de logros de inteligencia artificial salen a la luz, el desarrollo de la industria de semiconductores se ha convertido en un campo de batalla fundamental para la competencia tecnológica mundial.Mientras que el proceso de 2nm se ha convertido en la línea de meta de la carrera de la industriaEn el caso de las salas limpias de semiconductores, la "guerra de precisión" ha comenzado hace mucho tiempo.1Pa puede resultar en el desguace de todo un lote de obleasHoy, exploramos cómo Endress+Hauser ha profundizado en el tema del "monitoreo de presión" para ayudar a salvaguardar los objetivos de precisión de las fábricas de semiconductores.
En una fábrica de semiconductores, el uso de transmisores de presión en un solo proyecto puede llegar a 3.000 a 12.000 unidades, cubriendo todos los escenarios, incluidas las salas limpias, el tratamiento de aguas puras y residuales,y distribución de gas.
1. Presión diferencial de la sala limpia: Ultra-alta precisión construye una fuerte línea de defensa contra la contaminación
La clave para evitar la contaminación cruzada es mantener un gradiente de presión micro diferencial de 5 ∼ 10 Pa en diferentes zonas de salas limpias.El transmisor de presión diferencial Endress+Hauser Deltabar PMD75B tiene una precisión estándar de 0.05% (0,035% para la precisión de grado de platino). Puede ajustarse a través de Bluetooth a un rango de medición de -50 ~ 50Pa para un monitoreo de presión micro diferencial de alta precisión,garantizar el cumplimiento de los requisitos de limpieza de las salas limpias.
Los informes de calibración muestran que el error de medición real es < 0,014 Pa.
2Presión diferencial del conducto: resistencia a la corrosión y al polvo para un flujo de aire estable
En los sistemas HVAC de las salas limpias, la presión en los conductos de escape suele oscilar entre -3.000 y -1.500 Pa, y la corrosión de los gases de desecho ácido-base plantea un gran desafío.El Endress+Hauser Deltabar PMD55BEn una aplicación de gases de escape en una fábrica de semiconductores en Shanghai, el aluminio de aluminio de aluminio de aluminio de aluminio de aluminio, equipado con sensores con diafragmas de aleación C276 o diafragmas de cerámica PMC51B, puede resistir fácilmente la corrosión.ha logrado con éxito una salida de datos estable con una tolerancia de ± 10 Pa y una alarma automática cuando la presión supera los 50 Pa, resolviendo por completo el problema del caudal de ventilador no controlado.
3Presión de las tuberías de agua ultrapuras: los sensores secos eliminan los riesgos de fugas
Los sistemas de agua ultrapura requieren "cero contaminación" y piezas no metálicas mojadas.diseño libre de aceite que evita básicamente las fugasOfrece materiales mojados no metálicos opcionales, especialmente PVDF (fluoruro de polivinilidina), para cumplir con los requisitos de compatibilidad química en los procesos de agua ultrapura de semiconductores.el diafragma de cerámica tiene una función de autocontrol: en caso de daño del diafragma o fuga media, el sistema de autocontrol proporciona una retroalimentación rápida de fallas para garantizar el funcionamiento ininterrumpido del sistema.
4Nivel de presión diferencial del tanque de aguas residuales: Solución de sello de diafragma resistente a la corrosión
Las aguas residuales de la industria de los semiconductores a menudo contienen fluoruro de hidrógeno altamente corrosivo, lo que presenta desafíos extremos para los materiales mojados.con una capa especial, puede abordar específicamente los problemas de corrosión. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.
5- Presión en vacío: 0.1 Pa Limite de presión absoluta para los procesos centrales
Procesos como el grabado y la deposición de películas finas requieren un ambiente de alto vacío.es resistente al vacío elevado con una presión absoluta mínima medible de 0.1Pa, y es capaz de proporcionar un soporte de datos precisos para el proceso de fabricación de 2 nm.
6Distribución de gas/químicos: EP pulido para requisitos de alta pureza
Los gases especiales de alta pureza con una pureza superior al 99,999% imponen requisitos estrictos a los sensores.cumple las necesidades de control de presión de la distribución de gas de alta pureza en gabinetes de gas especialesSu sistema de sellado de diafragma flexible con diafragmas de material especial cumple con los rigurosos requisitos de diferentes productos químicos corrosivos, lo que permite controlar la presión de los tanques de almacenamiento de productos químicos.
![último caso de la compañía sobre [#aname#]](//style.industryinstrumentation.com/images/load_icon.gif)
Desde el nacimiento de un solo chip hasta la mejora de toda la industria de semiconductores,La precisión y la fiabilidad de los transmisores de presión siempre han sido la "piedra angular invisible" detrás de las escenasA medida que perseguimos las fronteras ilimitadas de la tecnología de chips, estos silenciosamente operando "administradores de presión" son la fuerza vital que salvaguarda nuestro curso.Desde el control de la presión por micro diferencial en las salas limpias hasta el control de la seguridad en el tratamiento de gases residuales, desde la garantía de contaminación cero para el agua ultrapura hasta la entrega precisa de gases especiales,Los transmisores de presión Endress+Hauser siempre han estado en la "línea de precisión" de la fabricación inteligente de semiconductores, acompañando la medición de la presión y proporcionando soluciones inteligentes profesionales, seguras y eficientes.
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