การวิเคราะห์อย่างครบถ้วนเกี่ยวกับการติดตามความดันในโรงงานครึ่งนํา

เนื่องจากความสําเร็จของปัญญาประดิษฐ์ที่เพิ่มขึ้นจะขึ้นนํา การพัฒนาอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําได้กลายเป็นสนามรบที่สําคัญสําหรับการแข่งขันทางเทคโนโลยีระดับโลกขณะที่กระบวนการ 2nm ได้กลายเป็นเส้นชิงของการแข่งขันอุตสาหกรรม, "สงครามความแม่นยํา" ในห้องสะอาดครึ่งตัวนําได้เริ่มนานแล้ว จํานวนของอนุภาคต่อเมตรเคียวบของอากาศต้องถูกควบคุมเป็นหลักเดียว และความดันอัตราการเปลี่ยนแปลงเพียง 0.1Pa อาจส่งผลให้การทําลายของชุดทั้งหมดของโอฟเฟอร์วันนี้เราจะศึกษาวิธีที่ Endress+Hauser ได้ดําเนินการในหัวข้อ "การตรวจสอบความดัน" เพื่อช่วยรักษาเป้าหมายความแม่นยําของโรงงานครึ่งตัวนํา

ในโรงงานครึ่งประสาท การใช้เครื่องส่งความดันในโครงการเดียวสามารถถึง 3,000 ถึง 12,000 ยูนิต ครอบคลุมทุกฉาก รวมถึงห้องสะอาด การบําบัดน้ําสะอาดและน้ําเสียและการกระจายก๊าซ.

การรักษาสะดวกระดับความดันความแตกต่างขนาดเล็กของ 5 10 Pa ระหว่างโซนห้องสะอาดที่แตกต่างกันคือกุญแจในการป้องกันการติดเชื้อข้ามเครื่องส่งแรงดันความแตกต่าง Endress+Hauser Deltabar PMD75B มีความแม่นยําแบบมาตรฐาน 00.05% (0.035% สําหรับความแม่นยําของเกรดพลาตินา) สามารถปรับผ่านบลูทูทูท ไปยังช่วงการวัด -50 ~ 50Pa สําหรับการตรวจสอบความดันความแตกต่างขนาดเล็กความแม่นยําสูงการประกันความสะอาดของห้องสะอาด.

รายงานการปรับระดับแสดงให้เห็นว่าความผิดพลาดในการวัดจริงคือ < 0.014Pa

ในระบบ HVAC ของห้องสะอาด ความดันในลําเลียงระบายน้ําประมาณ -3,000 ถึง -1,500Pa และการกินของก๊าซเสียกรด-ฐานเป็นโจทย์ใหญ่เอ็นเดรส+ฮาวเซอร์ เดลตารี PMD55B, อุปกรณ์ประกอบด้วยเซ็นเซอร์ด้วยสับสนธิ C276 หรือสับสนธิ PMC51B เซรามิค สามารถต่อต้านการกัดกร่อนได้อย่างง่ายดายได้ประสบความสําเร็จในการผลิตข้อมูลที่มั่นคงด้วยความอนุญาต ± 10 Pa และสัญญาณเตือนอัตโนมัติเมื่อความดันเกิน 50 Pa, แก้ปัญหาของอัตราการไหลของพัดลมที่ควบคุมไม่ได้

ระบบน้ําที่บริสุทธิ์สุดต้องการ "การปนเปื้อนศูนย์" และส่วนที่ไม่เป็นโลหะการออกแบบที่ไม่ใช้น้ํามัน ซึ่งหลีกเลี่ยงการรั่วไหล. มันนําเสนอวัสดุที่ชื้นไม่โลหะเป็นตัวเลือก โดยเฉพาะอย่างยิ่ง PVDF (polyvinylidene fluoride) เพื่อตอบสนองความเหมาะสมทางเคมีในกระบวนการน้ํา ultra-purity semiconductorผนังเซรามิกมีฟังก์ชันการติดตามตัวเอง: ในกรณีเกิดความเสียหายของแผ่นฉากหรือการรั่วไหลของกลาง ระบบการติดตามตัวเองจะให้ผลตอบกลับความผิดพลาดอย่างรวดเร็วเพื่อให้ระบบทํางานอย่างต่อเนื่อง

น้ําเสียในอุตสาหกรรมครึ่งประสาทบ่อย ๆ มีสารไฮโดรเจนฟลอไรด์ที่มีเกณฑ์เกรดมาก ซึ่งเป็นปัญหาที่รุนแรงสําหรับวัสดุที่เปียกมีเคลือบพิเศษ, สามารถแก้ไขปัญหาการเกรดได้โดยเฉพาะอย่างยิ่ง Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

กระบวนการเช่นการถักและการฝากแผ่นบางต้องการสภาพแวดล้อมความว่างสูง เครื่องส่งแรงดันเซรามิก Endress+Hauser Cerebra PMC51B ใช้หลักการวัดแบบจุทนทานกับความว่างสูง ด้วยความดันสัมบูรณ์อย่างต่ําสุดที่วัดได้ 0.1Pa และสามารถให้การสนับสนุนข้อมูลที่แม่นยําสําหรับกระบวนการผลิต 2nm

ก๊าซพิเศษความบริสุทธิ์สูงที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 99.999% ส่งผลให้มีความต้องการที่เข้มงวดต่อเซ็นเซอร์ Endress+Hauser Cerebra PMP51Bตอบสนองความต้องการการตรวจสอบความดันในการกระจายก๊าซความบริสุทธิ์สูงในตู้ก๊าซพิเศษระบบปิดแผ่นฉากแบบยืดหยุ่นที่มีแผ่นฉากจากวัสดุพิเศษ ตอบสนองความต้องการอย่างเข้มงวดของสารเคมีที่เป็นสารกัดสีที่แตกต่างกัน ทําให้สามารถตรวจสอบความดันของถังเก็บสารเคมีได้

จากการเกิดของชิปเดียว ไปจนถึงการปรับปรุงอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําทั้งหมดความแม่นยําและความน่าเชื่อถือของเครื่องส่งแรงดัน เป็น "หินมุมที่มองไม่เห็น"ในขณะที่เราก้าวไปสู่ขอบเขตที่ไม่มีขอบเขตของเทคโนโลยีชิป เหล่านี้ที่ทํางานเงียบๆ "ผู้นําแรงกดดัน" เป็นกําลังสําคัญในการปกป้องเส้นทางของเราจากการควบคุมความดันความแตกต่างขนาดเล็กในห้องสะอาดไปยังการติดตามความปลอดภัยในการบําบัดก๊าซเสียจากการรับประกันการปนเปื้อนแบบศูนย์ สําหรับน้ําที่บริสุทธิ์สุด ถึงการส่งก๊าซพิเศษอย่างแม่นยําเครื่องส่งแรงดัน Endress+Hauser ตั้งแต่สมัยก่อนอยู่ใน "แถวหน้าความแม่นยํา" ของการผลิตเชิงนําทางที่ฉลาด, บริการในการวัดความดันและให้บริการทางมืออาชีพ, ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ