반도체 팹에서의 압력 모니터링 종합 분석

인공지능의 성취가 증가함에 따라 반도체 산업의 발전은 글로벌 기술 경쟁의 핵심 전장이되었습니다.2nm 프로세스가 산업 경쟁의 결승선이 되었지만, 반도체 청정실에서의 "정밀성 전쟁"은 오래전부터 시작되었습니다.1Pa는 웨이퍼의 전체 팩을 폐기 할 수 있습니다.오늘, 우리는 엔드레스+하우저가 반도체 공장의 정밀 목표를 지키기 위해 "압 모니터링"이라는 주제에 어떻게 깊이 들어가는지 탐구합니다.

반도체 공장에서 단 하나의 프로젝트에서 압력 송신기의 사용량은 3,000~12,000개에 달할 수 있으며, 청정실, 순수 및 폐수 처리,가스 유통.

각기 다른 청정실 구역에 걸쳐 5~10Pa의 미세 차차 압력 경사도를 유지하는 것이 교차 오염을 방지하는 열쇠입니다.엔드레스+하우저 델타바 PMD75B 차차 압력 송신기는 표준 정확도 0.05% (0.035% 플래티넘 등급의 정확성) 로 조절할 수 있으며, 블루투스를 통해 -50~50Pa의 측정 범위로 조정하여 고정도 마이크로 디퍼셜 압력 모니터링을 할 수 있습니다.청정실의 청결성 요구 사항이 충족되도록 하는 것.

캘리브레이션 보고서에 따르면 실제 측정 오류는 <0.014Pa입니다.

청정실의 HVAC 시스템에서는 배기관의 압력이 일반적으로 -3,000 ~ -1,500Pa 사이이며, 산성 염기 폐기물 가스의 부식성이 큰 도전입니다.엔드레스+하우저 델타바 PMD55B, 합금 C276 대막 또는 PMC51B 세라믹 대막을 가진 센서를 장착, 쉽게 부식 저항 할 수 있습니다.압력이 50Pa를 초과할 때 ±10Pa의 허용량과 자동 경보로 안정적인 데이터 출력을 성공적으로 달성했습니다., 완전히 통제되지 않은 팬 흐름의 문제를 해결합니다.

초순수 시스템은 "零污染"와 비금속 濡れた 부품이 필요합니다.유출을 근본적으로 방지하는 기름 없는 설계그것은 반도체 초순수 공정에서 화학 호환성 요구 사항을 충족하기 위해 옵션 비금속 습화 물질, 특히 PVDF (폴리 비닐린 플루오라이드) 을 제공합니다.세라믹 대막은 자율 모니터링 기능이 있습니다.: 디아프라그마 손상 또는 중간 누출의 경우, 자체 모니터링 시스템은 시스템 중단없는 작동을 보장하기 위해 신속한 오류 피드백을 제공합니다.

반도체 산업의 폐수에는 종종 매우 부식성 수소 플루오라이드가 포함되어 있으며, 습한 재료에 대한 극심한 과제를 제시합니다.소재는:, 특히 부식 문제를 해결할 수 있습니다. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

에트싱 및 얇은 필름 퇴적과 같은 프로세스는 고 진공 환경을 필요로합니다. 엔드레스+하우저 세레브라 PMC51B 세라믹 압력 송신기는 용량 측정 원리를 채택합니다.최소 측정 가능한 절대 압력 0으로 높은 진공에 저항합니다..1Pa이며 2nm 제조 프로세스에 정확한 데이터 지원을 제공할 수 있습니다.

99.999% 이상의 순수성을 가진 고순수 특수 가스는 센서에 엄격한 요구 사항을 부과합니다.특수 가스 캐비닛에서 고순도 가스 유통의 압력 모니터링 요구를 충족합니다.특수한 재료의 대막을 가진 유연한 대막 밀폐 시스템은 다양한 부식 화학 물질의 엄격한 요구 사항을 충족시켜 화학 저장 탱크의 압력 모니터링을 가능하게합니다.

단일 칩의 탄생부터 반도체 산업의 업그레이드까지압력 송신기의 정확성 및 신뢰성은 항상 "보이지 않는 초석"입니다.우리는 칩 기술의 무한한 경계를 추구하고 있습니다. 조용하게 작동하는 이러한 "압력 관리자"는 우리의 코스를 보호하는 중요한 힘입니다.청정실에서의 미세 차차 압력 조절에서 폐가스 처리에서의 안전 모니터링, 초순수 오염 보장에서 특수 가스의 정확한 공급까지,엔드레스+하우저 압력 송신기는 항상 반도체 지능형 제조의 "정밀 전선"에 서 있습니다.압력 측정 및 전문적이고 안전하고 효율적인 지능형 솔루션을 제공합니다.