Комплексный анализ мониторинга давления в полупроводниковых фабриках

Поскольку все большее количество достижений искусственного интеллекта выходят на первый план, развитие полупроводниковой промышленности стало ключевым полем битвы для глобальной технологической конкуренции.В то время как 2-нм-процесс стал финишным пунктом индустриальной гонки, "прецизионная война" в полупроводниковых чистых помещениях уже давно началась. Количество частиц на кубический метр воздуха должно быть контролировано до одной цифры, а колебания давления всего 0.1Pa может привести к откату всей партии пластинСегодня мы рассмотрим, как Endress+Hauser углубилась в тему "мониторинга давления", чтобы помочь обеспечить точность целей заводов полупроводников.

На полупроводниковой фабрике использование передатчиков давления в одном проекте может достигать 3000-12000 единиц, охватывающих все сценарии, включая чистые помещения, очистку чистых и сточных вод,и распределения газа.

Сохранение микродифференциального градиента давления в 5 10 Pa в различных зонах чистых помещений является ключом к предотвращению перекрестного загрязнения.Передатчик дифференциального давления Endress+Hauser Deltabar PMD75B имеет стандартную точность 00,05% (0,035% для точности платинового класса). Он может регулироваться через Bluetooth на диапазон измерений -50 ~ 50Pa для высокоточного мониторинга микродифференциального давления,обеспечение соблюдения требований чистоты в чистых помещениях.

Отчеты о калибровке показывают, что фактическая погрешность измерения составляет < 0,014 Pa.

В системах HVAC чистых помещений давление в выхлопных трубах обычно колеблется от -3000 до -1500Pa, а коррозионность кислотно-базовых отходов представляет собой огромную проблему.Эндересс+Хаузер Дельтабар PMD55B, оснащенные датчиками с диафрагмами из сплава C276 или керамическими диафрагмами PMC51B, могут легко противостоять коррозии.удалось добиться стабильной выходной передачи данных с допустимым давлением ± 10 Pa и автоматической сигнализации при давлении более 50 Pa;, полностью решая проблему неконтролируемого потока вентилятора.

Ультрачистые системы воды требуют "нулевого загрязнения" и неметаллических влажных частей.конструкция без масла, которая в основном предотвращает утечкуОн предлагает дополнительные неметаллические влажные материалы, особенно ПВДФ (фторид поливинилдена), для удовлетворения требований химической совместимости в полупроводниковых ультрачистых процессах воды.Керамическая диафрагма имеет функцию самоконтроля: в случае повреждения диафрагмы или средней утечки система самоконтроля обеспечивает быструю обратную связь с ошибками для обеспечения бесперебойной работы системы.

Сточные воды в полупроводниковой промышленности часто содержат высоко коррозионный фторид водорода, что представляет собой чрезвычайную проблему для мокрых материалов.с специальным покрытием, может конкретно решать вопросы коррозии. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Процессы, такие как гравирование и отложение тонкой пленки, требуют высокой вакуумной среды.устойчив к высокому вакууму с минимальным измеряемым абсолютным давлением 0.1Pa и способна обеспечивать точную поддержку данных для 2-нм производственного процесса.

Специальные газы высокой чистоты с чистотой более 99,999% предъявляют жесткие требования к датчикам.отвечает потребностям контроля давления распределения высокочистого газа в специальных газовых шкафахЕго гибкая система уплотнения диафрагмы со специальными материалами диафрагмы отвечает строгим требованиям различных коррозионных химических веществ, что позволяет контролировать давление химических резервуаров хранения.

От рождения одного чипа до модернизации всей полупроводниковой промышленности,точность и надежность передатчиков давления всегда были "невидимым краеугольным камнем" за кулисамиПо мере того, как мы продвигаемся к бескрайней границе технологий чипов, эти тихо действующие "управляющие давлением" являются жизненно важной силой, защищающей наш курс.От микродифференциального контроля давления в чистых помещениях до мониторинга безопасности при обработке отработанных газов, от гарантии нулевого загрязнения для сверхчистой воды до точной доставки специальных газов,Передатчики давления Endress+Hauser всегда были на "прецизном фронте" полупроводникового интеллектуального производства, сопровождая измерение давления и предоставляя профессиональные, безопасные и эффективные интеллектуальные решения.