Μια ολοκληρωμένη ανάλυση της παρακολούθησης πίεσης σε εργοστάσια ημιαγωγών

Καθώς όλο και περισσότερες επιτυχίες τεχνητής νοημοσύνης έρχονται στο προσκήνιο, η ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών έχει γίνει ένα κεντρικό πεδίο μάχης για τον παγκόσμιο τεχνολογικό ανταγωνισμό.Ενώ η διαδικασία των 2nm έχει γίνει το τέρμα του αγώνα της βιομηχανίαςΟ αριθμός των σωματιδίων ανά κυβικό μέτρο αέρα πρέπει να ελέγχεται σε ένα ψηφίο και μια διακύμανση πίεσης μόλις 0.Το 1Pa μπορεί να οδηγήσει στο σκάρταρισμα ολόκληρης παρτίδας πλακώνΣήμερα, θα εξερευνήσουμε πώς η Endress+Hauser έχει ερευνήσει το θέμα της "παρακολούθησης πίεσης" για να βοηθήσει στη διασφάλιση των στόχων ακρίβειας των εργοστασίων ημιαγωγών.

Σε ένα εργοστάσιο ημιαγωγών, η χρήση μεταβιβαστών πίεσης σε ένα μόνο έργο μπορεί να φθάσει τις 3.000 έως 12.000 μονάδες, καλύπτοντας όλα τα σενάρια, συμπεριλαμβανομένων των καθαρών δωματίων, της καθαρής επεξεργασίας και της επεξεργασίας λυμάτων,και διανομή αερίου.

Η διατήρηση ενός μικροδιαφορετικού κλίματος πίεσης 5 ∆10 Pa σε διάφορες ζώνες καθαρών δωματίων είναι το κλειδί για την πρόληψη της διασταυρούμενης μόλυνσης.Ο μεταδότης διαφορικής πίεσης Endress+Hauser Deltabar PMD75B διαθέτει κανονική ακρίβεια 00,05% (0,035% για την ακρίβεια της κατηγορίας πλατίνας). Μπορεί να ρυθμιστεί μέσω Bluetooth σε εύρος μέτρησης -50 ~ 50Pa για υψηλής ακρίβειας παρακολούθηση μικροδιαφορικής πίεσης,διασφάλιση της τήρησης των απαιτήσεων καθαριότητας των καθαρών χώρων.

Οι εκθέσεις βαθμονόμησης δείχνουν ότι το πραγματικό σφάλμα μέτρησης είναι < 0,014 Pa.

Στα συστήματα HVAC των καθαρών δωματίων, η πίεση στους αγωγούς εξάτμισης κυμαίνεται συνήθως από -3.000 έως -1.500Pa, και η διαβρωτικότητα των ακατέργαστων αερίων οξέος-βάσης αποτελεί τεράστια πρόκληση.Το Endress+Hauser Deltabar PMD55BΗ τεχνολογία αυτή, η οποία είναι εξοπλισμένη με αισθητήρες με διάφραγμα από κράμα C276 ή διάφραγμα από κεραμική PMC51B, μπορεί εύκολα να αντισταθεί στη διάβρωση.έχει επιτύχει με επιτυχία σταθερή έξοδος δεδομένων με ανοχή ±10Pa και αυτόματο συναγερμό όταν η πίεση υπερβαίνει τα 50Pa, λύνοντας πλήρως το πρόβλημα της ανεξέλεγκτης ροής του ανεμιστήρα.

Η Endress+Hauser Cerebra PMC51B υιοθετεί ένα κεραμικό διάφραγμα υψηλής καθαρότητας 99,9% με ξηρό,σχεδιασμός χωρίς λάδι που αποτρέπει ουσιαστικά διαρροέςΠαρέχει προαιρετικά μη μεταλλικά υλικά υγροποίησης, ειδικά PVDF (φθοριούχο πολυβινυλίδιο), για την κάλυψη των απαιτήσεων χημικής συμβατότητας σε ημιαγωγούς διαδικασίες υπερακαθαρμένου νερού.το κεραμικό διάφραγμα διαθέτει λειτουργία αυτοεπιτήρησης: σε περίπτωση βλάβης διαφράγματος ή μέσης διαρροής, το σύστημα αυτοελέγχου παρέχει ταχεία ανατροφοδότηση σφάλματος για να εξασφαλιστεί η αδιάλειπτη λειτουργία του συστήματος.

Τα απόβλητα νερού στη βιομηχανία ημιαγωγών περιέχουν συχνά πολύ διαβρωτικό φθοριούχο υδρογόνο, το οποίο παρουσιάζει εξαιρετικές προκλήσεις για τα υλικά που υγραντίζονται.με ειδική επικάλυψη, μπορεί να αντιμετωπίσει ειδικά τα θέματα διάβρωσης. Its application in a fluorine-containing wastewater project at a semiconductor fab in Zhejiang has successfully solved the pain point of diaphragm bulging or rupture that plagues similar pressure transmitters in corrosive environments.

Οι διεργασίες όπως η χαρακτική και η εναπόθεση λεπτών ταινιών απαιτούν περιβάλλον υψηλού κενού.είναι ανθεκτικό σε υψηλό κενό με ελάχιστη μετρήσιμη απόλυτη πίεση 0.1Pa και είναι ικανό να παρέχει ακριβή υποστήριξη δεδομένων για τη διαδικασία παραγωγής 2nm.

Τα υψηλής καθαρότητας ειδικά αέρια με καθαρότητα άνω του 99,999% θέτουν αυστηρές απαιτήσεις στους αισθητήρες.ανταποκρίνεται στις ανάγκες παρακολούθησης της πίεσης της διανομής αερίου υψηλής καθαρότητας σε ειδικά ντουλάπια αερίωνΤο ευέλικτο σύστημα σφραγίδας διαφράγματος με ειδικά υλικά διαφράγματος πληροί τις αυστηρές απαιτήσεις των διαφόρων διαβρωτικών χημικών ουσιών, επιτρέποντας την παρακολούθηση της πίεσης των δεξαμενών αποθήκευσης χημικών ουσιών.

Από τη γέννηση ενός ενιαίου τσιπ μέχρι την αναβάθμιση ολόκληρης της βιομηχανίας ημιαγωγών,Η ακρίβεια και η αξιοπιστία των διαβιβαστών πίεσης ήταν πάντα ο "αόρατος ακρογωνιαίος λίθος" πίσω από τις σκηνέςΚαθώς επιδιώκουμε τα απεριόριστα σύνορα της τεχνολογίας των τσιπ, αυτοί οι σιωπηλά λειτουργούντες "διαχειριστές πίεσης" είναι η ζωτική δύναμη που διασφαλίζει την πορεία μας.Από τον έλεγχο της μικροδιαφορικής πίεσης στα καθαρά δωμάτια έως την παρακολούθηση της ασφάλειας στην επεξεργασία των λυμάτων, από την εγγύηση μηδενικής μόλυνσης για υπερκαθαρό νερό έως την ακριβή παράδοση ειδικών αερίων,Οι πομποί πίεσης Endress+Hauser βρίσκονται πάντα στην πρώτη γραμμή της κατασκευής ημιαγωγών, συνοδεύοντας τη μέτρηση πίεσης και παρέχοντας επαγγελματικές, ασφαλείς και αποτελεσματικές έξυπνες λύσεις.